據(jù)杭州經(jīng)信官微消息，近日，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地傳出喜訊：首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機(jī)已在客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試，其精度比肩國(guó)際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國(guó)刻刀”。

據(jù)悉，依托省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式走向市場(chǎng)。團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人稱(chēng)：“這不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”關(guān)注股票藍(lán)英裝備和凱美特氣等利好。還有海立股份和張江高科。

據(jù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，取名“羲之”，是因其在芯片上刻寫(xiě)電路的精密“書(shū)寫(xiě)”能力與書(shū)法家王羲之的毛筆神韻相契合。這臺(tái)設(shè)備專(zhuān)攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，通過(guò)高能電子束在硅基上“手寫(xiě)”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計(jì)無(wú)需掩膜版，如同用納米級(jí)毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫(huà)，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。

據(jù)了解，此類(lèi)設(shè)備先前長(zhǎng)期受?chē)?guó)際出口管制，國(guó)家實(shí)驗(yàn)室、中科大、之江實(shí)驗(yàn)室等國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期無(wú)法采購(gòu)?！棒酥钡穆涞貜氐状蚱七@一困局，其定價(jià)低于國(guó)際均價(jià)，目前已與華為海思等企業(yè)及多家科研機(jī)構(gòu)展開(kāi)接洽。